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高端半导体工艺和真空镀膜设备的设计、加工、制造、工艺开发

真空阀门

插板阀

文字:[大][中][小] 2016-4-27    浏览次数:1971    


  产品介绍:

  插板阀常被用来保护高真空帮浦,也可被用来输送、连结真空腔体。

  新一代的插板阀-SMART是最新款的机械设计,在减少震动的部分也有更好的表现。

  SMART 无震自动轨传输机械装置

Manual Lever SMART Gate Valves, UHV, CF Flange

Catalog PN

Tube OD

Figure

A

B

C

D

E

F

G

H

I

J

SGVML-UHV-CF600

4"

1

152

84

130

M8

358

170

182

85

273

130

SGVML-UHV-CF800

6"

1

202

93

181

M8

495

234

250

117

378

150

SGVML-UHV-CF1000

8"

1

253

97

232

M8

683

316

334

158

525

180

SGVML-UHV-CF1200

10"

1

304

120

284

M8

781

368

390

184

597

200

Pneumatic SMART Gate Valves, UHV, CF Flange

Catalog PN

Tube OD

Figure

A

B

C

D

E

F

G

H

I

J

SGVP-UHV-CF600

4"

2

152

84

130

M8

358

170

182

85

273

140

SGVP-UHV-CF800

6"

2

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M8

495

234

250

117

378

160

SGVP-UHV-CF1000

8"

2

253

97

232

M8

683

316

334

158

525

185

SGVP-UHV-CF1200

10"

2

304

120

284

M8

781

368

390

184

597

215

Manual Lever SMART Gate Valves, HV, CF Flange

Catalog PN

Tube OD

Figure

A

B

C

D

E

F

G

H

I

J

SGVML-HV-CF600

4"

1

152

84

130

M8

358

170

182

85

273

119

SGVML-HV-CF800

6"

1

202

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M8

495

234

250

117

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SGVML-HV-CF1000

8"

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334

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SGVML-HV-CF1200

10"

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597

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