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高端半导体工艺和真空镀膜设备的设计、加工、制造、工艺开发

真空阀门

真空传输闸板阀

文字:[大][中][小] 2016-4-27    浏览次数:2080    

  真空传输闸板阀用来当作闸板连接两个密封腔体。可以传输物品。

  传输闸板阀式设计单轴作动,无尘且无震。

  特殊自锁动归位装置可以确保产品再临时状况时,可以自行密封在关闭位置。

  产品寿命高达100万次。容易安装维护,没有多余的装置,也不用重新定位装置。

  Transfer Slit Valves, Aluminum

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  Transfer Slit Valves, SUS304

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  Transfer Slit Valves, UHV, SUS304

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